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7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)
7.1 一般規(guī)定
7.1.1 潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí),應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。
7.1.2 氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。
7.1.3 有下列情況之一者,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置:
1 運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同;
2 生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序、設(shè)備交叉污染,對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響;
3 對(duì)溫、濕度控制要求差別大;
4 潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊;
5 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng);
6 系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
7.1.4 潔凈室(區(qū))內(nèi)的溫度、相對(duì)濕度應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.3條的規(guī)定。
7.1.5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
7.1.6 潔凈室(區(qū))與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差,靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 各潔凈室(區(qū))與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定;
2 不同等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa;
3 潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa;
4 潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。
7.1.7 潔凈室(區(qū))維持靜壓差值所需的壓差風(fēng)量,宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。
7.1.8 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖、控制要求,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
7.1.9 非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng),并應(yīng)進(jìn)行凈化處理。
7.1.10 潔凈室(區(qū))的清掃方式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器。對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1~5級(jí)的潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng),潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷。
7.2 氣流流型和送風(fēng)量
7.2.1 氣流流型的設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求:
1 氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)的要求??諝鉂崈舳鹊燃?jí)為1~5級(jí)時(shí),應(yīng)采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級(jí)為6~9級(jí)時(shí),宜采用非單向流;
2 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。
7.2.2 潔凈室的送風(fēng)量,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
7.2.3 潔凈室(區(qū))所需的滿足空氣潔凈度等級(jí)的潔凈送風(fēng)量和氣流流型,宜按表7.2.3計(jì)算。
7.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)
7.3.1 潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。
凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí),宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng),
7.3.2 潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較,采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。
7.3.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置,應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。
7.3.4 多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時(shí)運(yùn)行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng),應(yīng)集中處理。
7.3.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng),但下列情況不得回風(fēng):
1 在生產(chǎn)過程中向車間內(nèi)散發(fā)的有害物質(zhì)超過規(guī)定時(shí);
2 采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時(shí);
3 對(duì)其他工序有危害或不能避免交叉污染時(shí)。
7.3.6 凈化空調(diào)系統(tǒng)需設(shè)置電加熱時(shí),應(yīng)選用不產(chǎn)塵的電加熱器,且應(yīng)布置在高效過濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)采取安全保護(hù)措施。
7.3.7 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加濕器應(yīng)采取安全保護(hù)措施。
7.3.8 根據(jù)氣象條件,存在冷凍可能的地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采取防凍保護(hù)措施。
7.4 空氣凈化設(shè)備
7.4.1 空氣過濾器的選用和布置應(yīng)符合下列要求:
1 空氣過濾器應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)選用;
2 空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量;
3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段;
4 高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;
5 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近;
6 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近;
7 對(duì)化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置;
8 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。
7.4.2 風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:
1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用;
2 應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)氣流流型的要求布置;
3 終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;
4 送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié);
5 應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時(shí),外殼強(qiáng)度應(yīng)滿足檢修要求。
7.4.3 層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:
1 潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級(jí)的局部?jī)艋瘏^(qū)域宜采用層流罩;
2 層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用;
3 終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;
4 安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。
7.4.4 微環(huán)境裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:
1 當(dāng)生產(chǎn)工藝或設(shè)備對(duì)空氣潔凈度等級(jí)、外擾或溫度、相對(duì)濕度有較高要求,且所控區(qū)域不大時(shí),宜采用微環(huán)境裝置;
2 微環(huán)境裝置宜與生產(chǎn)工藝設(shè)備配套;
3 在不影響工藝操作的前提下,應(yīng)具有可靠的密閉性,內(nèi)外表面應(yīng)平整、光滑;
4 圍擋構(gòu)造、材料的選用應(yīng)方便生產(chǎn)操作。
7.4.5 干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:
1 安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定;
2 迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組所提供的機(jī)外余壓確定;
3 冷凍水進(jìn)水溫度,宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣的露點(diǎn)溫度;
4 應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。
7.4.6 凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機(jī)組的選用和布置,應(yīng)符合下列要求:
1 應(yīng)有良好的氣密性,漏風(fēng)率不得大于1%;
2 整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強(qiáng)度和剛度,內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑,外表面不應(yīng)結(jié)露;
3 布置應(yīng)整齊,并應(yīng)便于運(yùn)行和維修;當(dāng)多套空氣處理機(jī)組為同一潔凈室(區(qū))服務(wù)時(shí),宜選用相同規(guī)格的空氣處理機(jī)組;
4 送風(fēng)機(jī)宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。計(jì)算系統(tǒng)總阻力時(shí),中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;
5 應(yīng)設(shè)置排水裝置。
7.5 采暖、通風(fēng)
7.5.1 空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于8級(jí)的潔凈室(區(qū))不應(yīng)采用散熱器采暖。
7.5.2 潔凈廠房?jī)?nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備,應(yīng)設(shè)置局部排風(fēng)裝置,排風(fēng)罩宜為密閉式。局部排風(fēng)系統(tǒng)單獨(dú)設(shè)置的要求,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
7.5.3 潔凈室(區(qū))的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求:
1 應(yīng)防止室外氣流倒灌;
2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施;
3 局部排風(fēng)系統(tǒng)排出的有害氣體,當(dāng)其有害物質(zhì)濃度超過排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí),應(yīng)采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應(yīng)滿足國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定;
4 對(duì)含有水蒸氣或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng),應(yīng)設(shè)置坡度及排放口;
5 排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí),應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備,并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源;
6 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí),應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī),并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源;
7 排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng),其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況下,風(fēng)管內(nèi)爆炸危險(xiǎn)氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計(jì);
8 排除有爆炸危險(xiǎn)氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng),應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。
7.5.4 對(duì)排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險(xiǎn)性物質(zhì)的排氣管路,應(yīng)保持相對(duì)于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。
7.5.5 凈鞋室、更外衣室、盥洗室和廁所等生產(chǎn)輔助房間,應(yīng)采取通風(fēng)措施。
7.5.6 潔凈室(區(qū))事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h;
2 應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)控制開關(guān),手動(dòng)控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室(區(qū))和潔凈室(區(qū))外便于操作的地點(diǎn);
3 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。
7.6 排 煙
7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊,應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。
7.6.2 潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)同一防火分區(qū)的丙類潔凈室(區(qū))人員密度小于0.02人/m2,且安全疏散距離小于80m時(shí),潔凈室(區(qū))可不設(shè)機(jī)械排煙設(shè)施。
7.6.3 機(jī)械排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)分開設(shè)置;當(dāng)合用時(shí),應(yīng)采取防火安全措施,并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
7.6.4 機(jī)械排煙系統(tǒng)的風(fēng)量、排煙口位置、風(fēng)機(jī)的設(shè)置,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
7.7 風(fēng)管、附件
7.7.1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入管應(yīng)設(shè)置防倒灌裝置;送、回風(fēng)管宜設(shè)置調(diào)節(jié)閥。
7.7.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管的防火閥的設(shè)置,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道,不得設(shè)置熔片式防火閥。
7.7.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管、配件、過濾器以及密封材料等,應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定,并不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。
7.7.4 潔凈室(區(qū))內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、閥門、附件的制作材料和涂料,應(yīng)根據(jù)排除氣體的物理化學(xué)性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定,并不得與所輸送介質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或引起安全事故的發(fā)生。
7.7.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)總管上,應(yīng)采取消聲措施,并應(yīng)滿足潔凈室(區(qū))內(nèi)噪聲控制的要求。潔凈室(區(qū))排風(fēng)系統(tǒng),應(yīng)采取消聲措施,并應(yīng)滿足室內(nèi)外噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求。
7.7.6 在集中設(shè)置的空氣過濾器的前后,應(yīng)設(shè)置測(cè)壓孔或指針式壓差計(jì)。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上,應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測(cè)定孔。
7.7.7 風(fēng)管附件及輔助材料的防火性能,應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作,但接觸腐蝕性介質(zhì)的風(fēng)管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作;
2 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作;
3 附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。
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